积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年(nián)4月28日晚间，微导纳米公布
2023年报及2024年一季报。2023年全年(nián)，公司实现营业收(shōu)入16.80亿元，同比增长(zhǎng)145.39%。实现归母净(jìng)利润2.70亿(yì)元，同比增(zēng)长399.33%。扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一季度，微导纳米营(yíng)业收入达(dá)1.71亿元，同比增长125.27%；归(guī)母(mǔ)净利润达357.34万元，相比(bǐ)去(qù)年同期，实现扭亏为盈，公司业务呈现高速(sù)增长态势。

报告(gào)期(qī)内，得益于微导纳米在薄膜技术领(lǐng)域的不断突破，以及公司(sī)在全球化发展和(hé)多元化布局上(shàng)的努力，微导纳米在实现(xiàn)产品(pǐn)工艺优化升(shēng)级的同时，客户群体(tǐ)覆盖度也(yě)在进一步扩大，业务呈(chéng)现良好发展态势、市场竞争力、运营效率持续提升，有力推动了订单(dān)规模和经营业绩的(de)持续增长。

坚持ALD+CVD等镀膜(mó)平台化战略，赋能多元化产(chǎn)业发(fā)展

微导纳米是一(yī)家面向全球的半导体、泛半导体(tǐ)高(gāo)端微纳装备制造商(shāng)。公司(sī)形(xíng)成了以原子层沉(chén)积(jī)（ALD）技(jì)术(shù)为核心，化学气相(xiāng)沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的(de)技术平台体系，专注(zhù)于先进微米级(jí)、纳(nà)米(mǐ)级薄
膜设备的研发、生产与(yǔ)销售，向下游客户提供(gōng)尖端薄膜设备(bèi)、配套产品及服务。

长期以来，微(wēi)导纳米坚持以ALD为核心，CVD等
多种真空薄膜技术梯次发展技(jì)术平台体系，凭借(jiè)在新兴应用领域(yù)的前瞻性战略布局，微导纳米开发(fā)的薄膜(mó)沉积(jī)技术及设备(bèi)，目前已广泛运用于(yú)半导体、光伏(fú)及新兴应用领(lǐng)域，并取得亮眼(yǎn)表现。

在半导体领(lǐng)域，微导纳(nà)米构建了以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯(tī)次发展技术平台体系，公司半导(dǎo)体集成(chéng)电路产品涵盖(gài)逻辑、存储、化合物半导(dǎo)体、新型显示等诸多细分应用领域(yù)。在光伏领(lǐng)域，公(gōng)司ALD设(shè)备的(de)市场(chǎng)占有率保持领(lǐng)先，实(shí)现了对TOPCon产线真空类设备的全
覆盖(gài)，并在(zài)XBC、HJT、钙钛矿、钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局和出货。在(zài)新(xīn)兴应用领域，2023年(nián)，微导纳米(mǐ)已在光学、柔性电子、车规(guī)级芯片等几(jǐ)个(gè)极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域(yù)开始获得客户订单。

得(dé)益于ALD+CVD等镀膜平(píng)台化战略，微导纳米2023年成绩亮眼(yǎn)。业绩报告显示，2023年(nián)，公司新增订单总额约64.69亿元(yuán)，是去年同期新增订单的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手订单(dān)81.91亿元（含Demo订单(dān)），其中光伏在手订单70.26亿(yì)元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中(zhōng)心新兴应用领(lǐng)域在手订单0.50亿元。

下游业务迎来突破性发展，微导纳米积(jī)极开拓新兴市场应用

在(zài)半导(dǎo)体 领域，微导纳(nà)米是国内首家成功(gōng)将(jiāng)量产型(xíng) High-k 原子层沉积(jī)(ALD)设备应用(yòng)于集成(chéng)电路制造前道生产线的国产设备(bèi)厂商(shāng)。同(tóng)时，2023年7月，微导纳米首台半导体CVD薄膜沉(chén)积设备顺利发货至客户端，旨在通过差(chà)异(yì)化策略开发(fā)出市场亟需(xū)的CVD领域高端设备，解决关键工艺(yì)的市场空白(bái)。

根据SEMI行业(yè)统计，ALD约占半导体镀膜板(bǎn)块的11%~13%市场份额，未来几年将保持(chí)高速(sù)增长，复合(hé)增长率(lǜ)高达26.3%；CVD约占半导体镀膜板块的57%市场份额(é)，未来几年的复合增(zēng)长(zhǎng)率约为(wèi)8.9%。

目前，微导纳米已经开发工艺包括HKMG技术(shù)、柱状(zhuàng)电容器
、金属化薄膜沉(chén)积技术(shù)及高深宽比3D DRAM、TSV技 术等，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、T一季度快递业务量累计完成超370亿件iO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等薄膜材料(liào)。

在光伏领域，2023年11月，微(wēi)导(dǎo)纳米自主(zhǔ)研发的钙钛矿晶硅叠(dié)层电池专(zhuān)用ALD量产设备，顺利发至海外客户。2024年3月，微导纳米成功研发出首台适用于大面积(jī)百兆瓦钙钛矿电池生产(chǎn)的(de)专(zhuān)用量产型原子层沉积(ALD)设备，并(bìng)已(yǐ)顺利发货至业内领军(jūn)企业。

值得一提的是，报告期内，微导纳(nà)米新增立项多项
新兴产业应用项目，分布于柔性镀(dù)膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新(xīn)能源等细分应用领域镀膜环节。截至目前，微导纳米自主研 发的柔性电子二代机、应用于车规级芯(xīn)片ALD设备以及首台
光学领域(yù)镀(dù)膜(mó)设备已顺利发货，其中(zhōng)车规级芯片(piàn)ALD设备出口海外。2024年1一季度快递业务量累计完成超370亿件月，微导纳米创新(xīn)研发的ALD量产设备顺利发往(wǎng)欧洲某头部(bù)芯片封装客户，实现国产高端设备出 口海外(wài)。

图：薄膜沉积(jī)技术在部分新兴领域的(de)应用场景

微导纳米在财报中表示，公司(sī)将继续依托 产业化(huà)应用中心持续探索尖(jiān)端薄膜沉积技术在各新兴应用领域(yù)的发展机会，并逐步(bù)开展产(chǎn)品应用验证，持续推动新(xīn)兴产业(yè)的技术进步。

持续加码技术研发，深挖薄膜沉积(jī)设备技术护城河

近年来，微导纳米以ALD技
术为核心的薄膜沉(chén)积技术领域形(xíng)成了多项核心技术和(hé)科技成果，并成功将其应用于主(zhǔ)营业务，实现了科技成果与产业的深度融合。与 此同时，微导纳米始终坚持自(zì)主创新、持续加大(dà)研发投入，持续探索技术边界，积极应对市(shì)场需求的变(biàn)化，不断拓宽并深化在产业前瞻领域的技术应用，力(lì)求实现更广泛的技术创新与(yǔ)产业融合。

2023年，微导纳米(mǐ)研发投入3.08亿元，占营业收入比例达18.34%，其中约50%投向半导体领域，包括逻辑、存储、新型显示器(qì)、化合物半(bàn)导(dǎo)体等项目；光伏领域(yù)研发(fā)投(tóu)向(xiàng)包括TOPCon、XBC、钙
钛矿(kuàng)/钙钛矿叠层(céng)电池等新一代高 效(xiào)电池技术等项目。研发队伍人员不断增加(jiā)，研发人员达到429人，同比增长78.01%。

得益 于公司对研发的重视及在研发(fā)投入上的(de)不断加码，2023年(nián)，微导(dǎo)纳(nà)米新增各类(lèi)专利申请146项，新增专利授(shòu)权35项，累(lèi)计授权专利达到137项，逐步(bù)形成了薄膜沉积反应器设计技(jì)术、基于原(yuán)子层沉积的(de)高效电池(chí)技术、柔性材料制备(bèi)技术、薄膜封装技术等十大核心技术。

凭借坚持(chí)执行ALD+CVD等镀膜平台化战略，微导纳(nà)米正持续在新兴领域进行前沿化开(kāi)发，为公司未来(lái)发展创造更(gèng)多收入增(zēng)长极。此(cǐ)外，在技术协同(tóng)效应(yīng)进一步显现下，微(wēi)导纳(nà)米通过跨行业的业务分布，拥有了较强的穿(chuān)越行业周期的能力，公司的抗风险能力得到进一步提(tí)升。未来，随着其他新兴技术(shù)市场的发展，微导纳米作为平台型的关键设备(bèi)供应商的(de)优势将进一步显现。（齐(qí)和宁）

校对：苏 焕文

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